




含氟準(zhǔn)分子激光氣體
準(zhǔn)分子激光氣是多組份混合氣體,其輸出波長是稀有氣體(或鹵素)結(jié)合作用的結(jié)果。準(zhǔn)分子是稀有氣體(或鹵化物)的分子的名稱。通過含氟準(zhǔn)分子激光氣體能產(chǎn)生四種波長的光波(或譜線)。
HCl 準(zhǔn)分子氣體
準(zhǔn)分子激光是多氣體激光器,其輸出波長是稀有氣體(或鹵素)結(jié)合作用結(jié)果。準(zhǔn)分子是稀有氣體(或鹵化物)的分子的名稱。通過氯化1氫準(zhǔn)分子能產(chǎn)生2種波長的光波(或譜線)。



準(zhǔn)分子激光器出現(xiàn)于七十年代初,由于其單光子能量大,量子效率高,可實現(xiàn)高功率運轉(zhuǎn)且處于紫外波段,武漢準(zhǔn)分子預(yù)混氣,因此短短的十幾年中得到了迅速發(fā)展。進(jìn)入八十年代,商品化準(zhǔn)分子器件不斷涌現(xiàn),在實驗室和工業(yè)界應(yīng)用前景越來越廣,使得該類器件成為氣體激光器中發(fā)展快的器件之一。 但是與其它氣體激光器相比,準(zhǔn)分子器件的1大不足是光束質(zhì)量差。為此,國際上,在八十年代后期,開始在商品器件上引入非穩(wěn)腔以改善光束質(zhì)量,如西德 Lambda Physik公司的產(chǎn)品〔幻。國內(nèi)雖然在實驗室內(nèi)實現(xiàn)了KrF輸出〔2〕〔3〕,但實用型器件至今仍停留在單一的XeCI(3O8nm)譜線,沒有能很好地解決材料對FZ的耐腐蝕問題,因此限制了更短波長實用器件的出現(xiàn),如KrF(2 48nm),準(zhǔn)分子預(yù)混氣價格,ArF(193nm)等。另一方面,大部分器件采用平一平腔結(jié)構(gòu),準(zhǔn)分子預(yù)混氣報價,光束發(fā)散角高達(dá)3~4個mrad,而刻蝕、遙感等領(lǐng)域則需要發(fā)散角小一個數(shù)量級的激光輸出。



近視、遠(yuǎn)視、散光的眼睛由于眼角1膜表面曲率異常(太凸、太平或不規(guī)則),或者是眼球長度異常(太長或太短),準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng),導(dǎo)致外界光線不能準(zhǔn)確在眼底視1網(wǎng)膜聚焦,因此看不清東西。準(zhǔn)分子激光實際上是一種人眼看不見的超紫外線光束,由氟ya氣體混合后經(jīng)激發(fā)產(chǎn)生的,其波長為193納米,能夠精1確聚焦和控制,其切削精度非常準(zhǔn)確。每一脈沖可精1確切削0.25微米厚度的角1膜組織。



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